发明名称 PROCEDIMIENTO PARA LA INSPECCION DE UN OBJETO OPTICO Y UN APARATO PARA LA INSPECCION DE DICHO OBJETO OPTICO.
摘要 LA INSPECCION DE UN OBJETO OPTICO PARA COMPROBAR LA EXISTENCIA DE INHOMOGENEIDADES CONSISTE EN DIRIGIR UN RAYO DIVERGENTE DE RADIACION DE INSPECCION AL OBJETO OPTICO, DE FORMA QUE ILUMINE CADA UNO DE SUS PUNTOS EN UN ANGULO UNICO; EN PROYECTAR EL RAYO A TRAVES DEL OBJETO OPTICO EN UNA PANTALLA DE PROYECCION Y OBTENER ASI UN DIBUJO DE SU SOMBRA, EN EL QUE SE PUEDEN DISTINGUIR LAS INHOMOGENEIDADES OPTICAS DEBIDO A LA DIFERENCIA DE BRILLO EN LAS AREAS CORRESPONDIENTES AL OBJETO SOBRE EL BRILLO DE FONDO DEL DIBUJO; EN REPRESENTAR POR IMAGEN EL DIBUJO DE LA SOMBRA A TRAVES DEL OBJETO OPTICO DE TAL FORMA QUE LOS RAYOS QUE FORMAN LA IMAGEN PASAN POR CADA PUNTO DEL OBJETO OPTICO A UN ANGULO QUE CORRESPONDE AL ANGULO EN EL QUE SE HA ILUMINADO EL PUNTO; Y EN DETECTAR Y ANALIZAR LA IMAGEN DEL DIBUJO DE LA SOMBRA.
申请公布号 ES2180901(T3) 申请公布日期 2003.02.16
申请号 ES19970308168T 申请日期 1997.10.15
申请人 PROLASER LTD. 发明人 VOKHMIN, PETER
分类号 G01N21/896;G01N21/958;(IPC1-7):G01M11/02;G01N21/88;G01N21/89 主分类号 G01N21/896
代理机构 代理人
主权项
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