发明名称 |
IONENENERGIE ANALYSATOR UND ELEKTRISCH GESTEUERTER GEOMETRISCHER FILTER FÜR EINEN SOLCHEN ANALYSATOR |
摘要 |
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申请公布号 |
AT232333(T) |
申请公布日期 |
2003.02.15 |
申请号 |
AT19960103793T |
申请日期 |
1996.03.11 |
申请人 |
APPLIED MATERIALS, INC. |
发明人 |
LOEWENHARDT, PETER;YIN, GERALD ZHEYAO |
分类号 |
H05H1/00;H01J37/05;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01J37/05 |
主分类号 |
H05H1/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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