| 发明名称 |
DISPOSITIF D'INJECTION MULTI-ZONES DANS UN REACTEUR RTP OU CVD A CHAUFFAGE PAR LAMPES A RAYONNEMENT ELECTROMAGNETIQUE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
FR2816520(B1) |
申请公布日期 |
2003.02.14 |
| 申请号 |
FR20000014726 |
申请日期 |
2000.11.15 |
| 申请人 |
JOINT INDUSTRIAL PROCESSORS FOR ELECTRONICS |
发明人 |
LAPORTE FRANCK;DUCRET RENE PIERRE;GUILLON HERVE;SEMMACHE BACHIR;NOEL SEBASTIEN |
| 分类号 |
C23C16/44;C23C16/455;C23C16/48;H01L21/00;(IPC1-7):B01J4/00;B01J19/12;B01J19/26;B01J19/08 |
主分类号 |
C23C16/44 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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