发明名称 |
VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR STEUERUNG MIT OFFENEM REGELKREIS DER ZÜCHTUNG EINES HALBLEITERKRISTALLES |
摘要 |
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申请公布号 |
DE69904810(D1) |
申请公布日期 |
2003.02.13 |
申请号 |
DE19996004810 |
申请日期 |
1999.03.12 |
申请人 |
MEMC ELECTRONIC MATERIALS, INC. |
发明人 |
GROVER, SUNIL;KIMBEL, L. |
分类号 |
C30B29/06;C30B15/14;C30B15/20;C30B15/22;(IPC1-7):C30B15/20 |
主分类号 |
C30B29/06 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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