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经营范围
发明名称
Gerät zur Belichtung mittels geladenem Teilchenstrahl mit einer Trägertisch-Positionsmesseinrichtung
摘要
申请公布号
DE69715380(T2)
申请公布日期
2003.02.13
申请号
DE19976015380T
申请日期
1997.10.16
申请人
FUJITSU LTD., KAWASAKI;ADVANTEST CORP., TOKIO/TOKYO
发明人
KAWAKAMI, KENICHI;OHKAWA, TATSURO;ISHIDA, KAZUSHI;TSUDA, AKIYOSHI
分类号
H01L21/027;G03F7/20;H01J37/304;H01L21/68;(IPC1-7):H01J37/317;H01J37/20;H01L21/00
主分类号
H01L21/027
代理机构
代理人
主权项
地址
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