| 发明名称 |
Verfahren zur Herstellung einer Sensoranordnung und Sensoranordnung |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
DE19825298(C2) |
申请公布日期 |
2003.02.13 |
| 申请号 |
DE19981025298 |
申请日期 |
1998.06.05 |
| 申请人 |
FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. |
发明人 |
FAUL, ROBERT |
| 分类号 |
G01P15/08;G01P15/093;(IPC1-7):G01P15/00;G01D5/30;G01P15/10;G01P15/14;H01L49/00 |
主分类号 |
G01P15/08 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
