| 发明名称 |
Abstandsbelichtungsvorrichtung mit Vorrichtung zur Einstellung des Abstandes |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69806666(T2) |
申请公布日期 |
2003.02.13 |
| 申请号 |
DE19986006666T |
申请日期 |
1998.03.26 |
| 申请人 |
USHIODENKI K.K., TOKIO/TOKYO |
发明人 |
SUZUKI, SHINJI |
| 分类号 |
H01L21/027;G03F7/20;G03F7/207;G03F9/00;(IPC1-7):G03F9/00 |
主分类号 |
H01L21/027 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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