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发明名称 ENHANCED ELECTRON EMISSIVE SURFACES FOR A THIN FILM DEPOSITION SYSTEM USING ION SOURCES
摘要
申请公布号 EP1282909(A1) 申请公布日期 2003.02.12
申请号 EP20000952350 申请日期 2000.08.01
申请人 ADVANCED ENERGY INDUSTRIES, INC. 发明人 KISHINEVSKY, MICHAEL;SHABALIN, ANDREW
分类号 H01J27/08;H01J37/08;H01J37/317;(IPC1-7):H01J27/00 主分类号 H01J27/08
代理机构 代理人
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