真空蒸镀聚合装置及采用该装置的有机被膜的形成方法

摘要

本发明提供一种通过防止在容器内飞舞的粉尘附着到被覆物一侧的面上，从而可以在被覆物一侧的面上形成高品质的有机被膜的真空蒸镀聚合装置及采用该装置的有机被膜的形成方法。本发明的真空蒸镀聚合装置配有：可向外部排出内部空气形成真空状态的容器B，可使单体气化的气体发生器14a、14b，将由该气体发生器14a、14b气化的单体气体导入到容器B内的气体导入管15a、15b，在容器B内扩散单体气体并蒸镀形成有机被膜的作为被覆物的基板11，在容器B内，使基板11以规定的倾斜角度C倾斜，在使基板11一侧的面11a向下的状态下，在基板11上蒸镀形成有机被膜。

主权项

1、一种真空蒸镀聚合装置，其特征在于，配有：可向外部排出内部空气形成真空状态的容器，可使单体气化的气体发生器，将由该气体发生器气化的单体气体导入到前述容器内的气体导入管，在前述容器内扩散前述单体气体并蒸镀形成有机被膜的被覆物，在前述容器内，使前述被覆物以规定的倾斜角度倾斜，在使前述被覆物的一个面向下的状态下，在前述被覆物上蒸镀形成前述有机被膜。