准分子激光微加工用的均束器

摘要

一种准分子激光微加工用的均束器属于激光微加工及其应用技术领域。它包括有在内伸缩镜筒T中，顺次组合排列的一系列的紫外光学透镜组成，特征在于它是将准分子激光器出射的激光经柱面扩束镜L₁、L₂，扩束后顺次入射相互之间距离可调的正负两级复眼小透镜阵列L₃、L₄，透射子波束入射到收集透镜L₅。其中，两级复眼中每一级由前后紧贴正交的透镜阵列构成，透镜阵列采用了相互之间沿其长轴侧面粘接的一系列现有的条形小柱面透镜。本实用新型由于采用了两级小透镜阵列组成，通过将原始光束进行重新分割组合而达到均束的目的，从而改变到达掩模面上的准分子激光分布以实现加工结果的一致性。可用于准分子激光微加工掩模投影加工法。

主权项

1、一种准分子激光微加工用的均束器，包括有在内伸缩镜筒T中，顺次组合排列的一系列的紫外光学透镜组成，其特征在于它是将准分子激光器出射的激光经柱面扩束镜L1、L2，扩束后顺次入射正负两级复眼小透镜阵列L3、L4，透射子波束入射到收集透镜L5，其中，两级复眼中每一级由前后紧贴正交的透镜阵列构成，透镜阵列采用了相互之间沿其长轴侧面粘接的一系列现有的条形小柱面透镜。