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发明名称 PLASMA PROCESSING METHOD AND APPARATUS
摘要
申请公布号 EP1282908(A2) 申请公布日期 2003.02.12
申请号 EP20010935148 申请日期 2001.05.07
申请人 ESSOX RESEARCH AND DEVELOPMENT, INC. 发明人 SCHIEWE, ROBERT, R.;FRAIM, MICHAEL, LEE;SPIELMAN, RICK, B.
分类号 B01J3/00;B01J19/08;G21B1/13;H05H1/24;H05H1/46;(IPC1-7):H01J7/24;F28D7/00 主分类号 B01J3/00
代理机构 代理人
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