| 发明名称 |
Verfahren zur Projektionsbelichtung eines mit rückseitigen Ausrichtmarken versehenen Werkstücks und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69622122(T2) |
申请公布日期 |
2003.02.06 |
| 申请号 |
DE19966022122T |
申请日期 |
1996.10.18 |
| 申请人 |
USHIODENKI K.K., TOKIO/TOKYO |
发明人 |
TANAKA, YONETA |
| 分类号 |
G03F9/00;H01L21/027;H05K3/00;(IPC1-7):G03F9/00 |
主分类号 |
G03F9/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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