MICROMECHANICAL COMPONENT

摘要

Ein mikromechanisches Bauelement weist ein Substrat (12) und ein Bauglied (2), das bewegbar an dem Substrat (12) angebracht ist auf, wobei das Bauglied (2) eine erste Elektrode (24) und eine von der ersten Elektrode (24) elektrisch isolierte zweite Elektrode (26) aufweist, und wobei das Substrat (12) eine dritte Elektrode (28) aufweist, die der ersten Elektrode (24) und der zweiten Elektrode (26) zumindest teilweise gegenüber liegt.Fig. 1- 2 -1