Sensoreinrichtung zum Erfassen einer Dehnungsbeanspruchung

摘要

Sensoreinrichtung zum Erfassen einer Dehnungsbeanspruchung eines Bauteils (1), die aus einem Sensorchip (4) und einem Trägersubstrat (3) besteht, welche durch eine Verbindungsschicht (5) so miteinander verbunden sind, dass sie ein vorgefertigtes Sensormodul (2) bilden. Das Sensormodul (2) wird durch eine dauerfeste kriechfreie Verbindung an dem Bauteil so befestigt, dass die Dehnungsbeanspruchung des Bauteils (1) auf den Sensorchip (4) übertragen wird.