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发明名称 POSITIV ARBEITENDE, 2,3-DINITRO-1-NAPHTHOL EHTHALTENDE PHOTORESISTZUSAMMENSETZUNG
摘要
申请公布号 DE69713777(T2) 申请公布日期 2003.02.06
申请号 DE19976013777T 申请日期 1997.08.06
申请人 CLARIANT FINANCE (BVI) LTD., ROAD TOWN 发明人 DAMMEL, R.;LU, PING-HUNG;KOKINDA, G.;DIXIT, S.
分类号 G03F7/004;G03F7/022;G03F7/023;G03F7/09;G03F7/32;G03F7/38;G03F7/40;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/09 主分类号 G03F7/004
代理机构 代理人
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