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经营范围
发明名称
Behälter für Halbleiterplättchen
摘要
申请公布号
DE69527132(T2)
申请公布日期
2003.02.06
申请号
DE19956027132T
申请日期
1995.03.28
申请人
FLUOROWARE, INC.
发明人
RING, DAVID J.;WILLIAMS, RANDALL S.;SHINDLEY, RICHARD P.
分类号
H01L21/673;(IPC1-7):H01L21/00;B01L1/00
主分类号
H01L21/673
代理机构
代理人
主权项
地址
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