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发明名称 Profilometer and method for measuring surface profile and calibration method
摘要
申请公布号 GB2378254(A) 申请公布日期 2003.02.05
申请号 GB20020012537 申请日期 2002.05.30
申请人 * MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD 发明人 KOJI * HANDA;KEIICHI * YOSHIZUMI;KEISHI * KUBO;HIROYUKI * TAKEUCHI
分类号 G01B21/20;G01B5/012;G01B21/00;(IPC1-7):G01B7/28 主分类号 G01B21/20
代理机构 代理人
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