发明名称 | 一种光罩盒的承载件 | ||
摘要 | 本实用新型涉及一种光罩盒的承载件,包括:一结构本体,可安装于光罩盒上;一支承部,为一平板构造,连接于该结构本体上以承载光罩;一延伸挡止部,与该支承部平行连接在该结构本体的同一平面上,向靠近该支承部一侧延伸形成一向下的冂形凹槽,该冂形凹槽具有一悬浮端,该悬浮端靠近该支承部一侧具有一挡止面,且该悬浮端顶部至该悬浮端底部的截面向该支承部方向逐渐凸出增厚。本实用新型可加强光罩盒上承载件的悬浮端的结构强度,使悬浮端可承受更大的应力,可避免此悬浮端变形而导致机台撞机,造成严重损失。 | ||
申请公布号 | CN2534610Y | 申请公布日期 | 2003.02.05 |
申请号 | CN02231127.0 | 申请日期 | 2002.04.17 |
申请人 | 旺宏电子股份有限公司 | 发明人 | 张明诏 |
分类号 | G03F1/14 | 主分类号 | G03F1/14 |
代理机构 | 隆天国际专利商标代理有限公司 | 代理人 | 潘培坤;楼仙英 |
主权项 | 1、一种光罩盒的承载件,其特征在于包括: 一结构本体,安装于光罩盒上; 一支承部,为一平板构造,连接于该结构本体上以承载光罩; 一延伸挡止部,与该支承部平行连接在该结构本体的同一平面上,向 靠近该支承部一侧延伸形成一向下的ㄇ形凹槽,该ㄇ形凹槽具有一悬浮 端,该悬浮端靠近该支承部一侧具有一挡止面,且该悬浮端顶部至该悬浮 端底部的截面向该支承部方向逐渐凸出增厚。 | ||
地址 | 台湾省新竹 |