电气耦合机械带通滤波器

摘要

本发明提供了用在PIRM存储器阵列中的电控机械带通滤波器，利用静电耦合的微谐振器作为滤波器，实现微电控机械系统技术，其中大量的微小的微动子构造在单个基片上。本发明的系统提供了一种窄带滤波器，具有急剧衰减的频率，典型地每十倍频衰减40db，还有高阻抗，可以用简单、低温、不包括集成电路的便宜的工艺实现。

主权项

1、一个构造在基片上的电耦合的机械带通滤波器，包括：第一和第二块(32，38)，每一块在一个方向上可独立地相对于基片和另一块运动；第一弹簧元件(33)，一端连接在基片(36)上，另一端连接在第一块(32)上；第二弹簧元件(36)，一端连接在第一块(32)上，另一端连接在第二块(38)上；输入转换器(40，42)，用来接收输入频率和把输入力施加到第一块(32)上，输入力在第一块(32)运动的方向上有一个分力，输入力受输入频率的影响；输出转换器(48，49)和第一和第二块(32，38)相连来提供受第一和第二块相对运动影响的输出频率。