| 发明名称 |
Ion energy analyzer and electrically controlled geometric filter for same |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0734044(B1) |
申请公布日期 |
2003.02.05 |
| 申请号 |
EP19960103793 |
申请日期 |
1996.03.11 |
| 申请人 |
APPLIED MATERIALS, INC. |
发明人 |
LOEWENHARDT, PETER;YIN, GERALD ZHEYAO |
| 分类号 |
H05H1/00;H01J37/05;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01J37/05 |
主分类号 |
H05H1/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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