发明名称 |
Reducing space charge effects in ion beams using cusp-type magnetic fields |
摘要 |
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申请公布号 |
GB2378313(A) |
申请公布日期 |
2003.02.05 |
申请号 |
GB20020008395 |
申请日期 |
2002.04.11 |
申请人 |
* SUMITOMO EATON NOVA CORPORATION |
发明人 |
MITSUKUNI * TSUKIHARA;MITSUAKI * KABASAWA;MICHIRO * SUGITANI;HIROKI * MUROOKA;HIROSHI * MATSUSHITA |
分类号 |
C23C14/48;G21K1/08;H01J37/09;H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):H01J37/317 |
主分类号 |
C23C14/48 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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