发明名称 POLISHING COMPOUND FOR SEMICONDUCTOR CONTAINING PEPTIDE
摘要
申请公布号 EP1235261(A4) 申请公布日期 2003.02.05
申请号 EP20000971746 申请日期 2000.11.02
申请人 SEIMI CHEMICAL CO., LTD. 发明人 SUNAHARA, KAZUO;TSUGITA, KATSUYUKI;SHINMARU, SACHIE
分类号 C09G1/02;C09K3/14;(IPC1-7):H01L21/304;B24B37/00 主分类号 C09G1/02
代理机构 代理人
主权项
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