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发明名称 INFRARED INSPECTION FOR DETERMINING RESIDUAL FILMS ON SEMICONDUCTOR DEVICES
摘要
申请公布号 EP1281201(A2) 申请公布日期 2003.02.05
申请号 EP20000983905 申请日期 2000.12.04
申请人 ADVANCED MICRO DEVICES INC. 发明人 NISTLER, JOHN, L.;RAEDER, CHRISTOPHER, H.
分类号 G01N21/71;(IPC1-7):H01L21/66;G01N21/956 主分类号 G01N21/71
代理机构 代理人
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