喷墨头的生产方法

摘要

一种喷墨头的生产方法，该喷墨头包括可产生喷射墨的能量的墨喷射压力产生部件，向喷墨头供应墨的墨供给口，其步骤包括：制备硅基层；在硅基层表面形成喷射墨压力产生部件和氧化硅膜或氮化硅膜；在硅基层背面形成构成墨供给口的耐腐蚀防护罩；通过各向异性腐蚀法将硅基层背面上的其位置与墨供给口部分相对应的硅去除；在硅基层表面形成墨射出口部分；从墨供给口部分的硅基层表面将氧化硅膜或氮化硅膜去除。

主权项

1.一种喷墨头的生产方法，该喷墨头包括可产生喷射墨的能量的墨喷射压力产生部件和向喷墨头供应墨的墨供给口，其步骤包括：制备硅基层；在硅基层表面形成墨喷射压力产生部件和氧化硅膜或氮化硅膜；在硅基层的背面形成耐腐蚀防护罩，以便形成墨供给口；通过各向异性腐蚀法将硅基层背面上的其位置与墨供给口部分相对应的硅去除；在硅基层表面形成墨射出口部分；从墨供给口部分的硅基层表面将氧化硅膜或氮化硅膜去除。