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发明名称
摘要
申请公布号 JP3374096(B2) 申请公布日期 2003.02.04
申请号 JP19980362507 申请日期 1998.12.21
申请人 发明人
分类号 H01L21/762;H01L21/336;H01L21/76;H01L21/8238;H01L27/08;H01L27/092;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/823 主分类号 H01L21/762
代理机构 代理人
主权项
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