发明名称 石英乾燥机及其控制方法
摘要 一种石英乾燥机及其控制方法。其中,石英乾燥机具有上层石英品乾燥区,下层石英管乾燥区,马达,烘乾机与警示装置。上层石英品乾燥区具有数个上层空气喷嘴。下层石英管乾燥区具有齿轮转盘座,可伸缩式吹管与数个下层空气喷嘴。其中,可伸缩式吹管位于齿轮转盘座。马达可带动齿轮转盘座旋转。烘乾机则用来烘乾小型石英品与石英管。警示装置在上层石英品乾燥区的吹乾限定时间到达或下层石英管乾燥区的烘乾限定时间到达时,发出警示声。
申请公布号 TW519679 申请公布日期 2003.02.01
申请号 TW090126666 申请日期 2001.10.29
申请人 华邦电子股份有限公司 发明人 栾益昌
分类号 H01L21/00 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人 詹铭文 台北市中正区罗斯福路二段一○○号七楼之一;萧锡清 台北市中正区罗斯福路二段一○○号七楼之一
主权项 1.一种石英乾燥机,包括:一上层石英品乾燥区,系用来放置一小型石英品,具有复数个上层空气喷嘴;一下层石英管乾燥区,包括一齿轮转盘座,系用来放置一石英管,一可伸缩式吹管,位于该齿轮转盘座中央,以及复数个下层空气喷嘴;一马达,系用来带动该齿轮转盘座旋转,其中该马达之齿轮与该齿轮转盘座相契合;一烘乾机,系用来烘乾该小型石英品与该石英管;以及一警示装置,于该上层石英品乾燥区之一吹乾限定时间,以及该下层石英管乾燥区之一烘乾限定时间二者之一到达时发出一警示声。2.如申请专利范围第1项所述之石英乾燥机,更包括一固定脚架以固定该石英乾燥机。3.如申请专利范围第1项所述之石英乾燥机,更包括一滚轮以移动该石英乾燥机。4.如申请专利范围第1项所述之石英乾燥机,其中该乾燥机之材质包括一耐侵蚀材质。5.如申请专利范围第1项所述之石英乾燥机,其中该齿轮转盘座包括一多层次转盘座,系用来放置不同管径之该石英管。6.如申请专利范围第1项所述之石英乾燥机,其中该马达包括一减速马达。7.如申请专利范围第1项所述之石英乾燥机,其中该马达包括可正逆转之马达。8.如申请专利范围第1项所述之石英乾燥机,其中该马达与该齿轮转盘座间系以皮带传动。9.一种石英乾燥机之控制方法,适用于具有一空气喷嘴与一烘乾机的该石英乾燥机上,该控制方法包括:启动一控制电源;以该空气喷嘴于欲乾燥之一乾燥物上喷气;在一第一预定时间经过后,启动该烘乾机;在一第二预定时间经过后,停止该烘乾机运作;以及于关闭该控制电源时停止该空气喷嘴之喷气操作。10.如申请专利范围第9项所述之石英乾燥机之控制方法,更包括:于该空气喷嘴开始喷气时,开始转动该乾燥物;以及于停止该烘乾机运作时,停止转动该乾燥物。11.如申请专利范围第10项所述之石英乾燥机之控制方法,其中转动该乾燥物更包括:于一第三预定时间内,将该乾燥物依一第一方向转动;于一第四预定时间内,将该乾燥物依与该一第一方向反向的第二方向转动;以及在停止转动该乾燥物之前,重复上述步骤以改变乾燥物的旋转方向。12.如申请专利范围第11项所述之石英乾燥机之控制方法,其中该第一方向为顺时针方向,该第二方向为逆时针方向。13.如申请专利范围第11项所述之石英乾燥机之控制方法,其中该第一方向为逆时针方向,该第二方向为顺时针方向。14.如申请专利范围第9项所述之石英乾燥机之控制方法,更包括:于该烘乾机停止运作时,发出一警示声响。15.如申请专利范围第9项所述之石英乾燥机之控制方法,更包括:于该烘乾机启动时,发出一警示声响。图式简单说明:第1A图绘示的是根据本发明之一种石英乾燥机的正立面图;第1B图绘示的是根据第1A图之一种石英乾燥机的左侧立面图;第1C图绘示的是根据第1A图之一种石英机的正视剖面图;第2A图绘示的是根据本发明之一种可伸缩式吹管送气前的正立面图;第2B图绘示的是根据本发明之一种可伸缩式吹管送气后的正立面图;第2C图绘示的是根据本发明之一种可伸缩式吹管的正视图;第3A图绘示的是根据本发明之一较佳实施之一种石英乾燥机之主控电源操作方式的示意图;以及第3B图绘示的是根据本发明之一较佳实施例之一种石英乾燥机之操作电路的示意图。
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