| 主权项 |
1.一种晶圆承载机械手臂,系配合一晶圆,主要包括:至少一对承载框体,用以承载该晶圆;至少一对连接边框,该连接边框相邻接于该承载框体;至少一辅助托架,系位于该承载框体之间,且介于该连接边框之间;以及其中该辅助托架与该连接边框或该承载框体连接,且该辅助托架亦用以承载该晶圆之部分重量。2.如申请专利范围第1项所述机械手臂,其中每一承载框体具有一阶梯结构,并以该阶梯结构承载该晶圆。3.如申请专利范围第1项所述之机械手臂,其中该辅助托架系为一字形托架。4.如申请专利范围第3项所述之机械手臂,其中该辅助托架之两端系连接连接边框。5.如申请专利范围第2项所述之机械手臂,其中该辅助托架与该晶圆接触之顶面系与该承载框体承载之阶梯平面等高。6.如申请专利范围第1项所述之机械手臂,其中该晶圆辅助托架系为十字形托架,且该十字形托架与该连接边框连结。7.如申请专利范围第4项所述之机械手臂,其中该辅助托架与载框体承载晶圆之顶面等高。图式简单说明:第1图系习知晶圆承载机械手臂之立体图。第2a图系本发明第一实施例之立体图。第2b图系本发明第二实施例之立体图。 |
