摘要 |
En un aparato para el revestimiento del interior de un recipiente que suministra un gas reactivo dentro del recipiente bajo condiciones controladas en una cubierta, la mejora caracterizada por: un manguito cilíndrico que forma parcialmente dicha cubierta, dicho manguito que es sellable en los respectivos extremos superior e inferior para completar la cubierta; y un conjunto de cabeza para sellar el extremo superior del manguito, dicho conjunto de cabeza que tiene un primer puerto para acomodar el flujo de dicho gas reactivo dentro del recipiente, y un segundo puerto para conexión al primer dispositivo de control de presión; dicho manguito cilíndrico que tiene un tercer puerto para conexión a un segundo dispositivo de control de presión; y un controlador para controlar independientemente los primer y segundo dispositivos de control de presión para controlar selectivamente las presiones en el recipiente y la cubierta, respectivamente. <EMI FILE="00024075_1" ID="1" IMF=JPEG >
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