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<p>Es wird ein Dünnschichtbauelement und ein Verfahren zu dessen Herstellung vorgeschlagen, wobei auf einem Substrat (10) eine Isolationsschicht (20) und eine Widerstandsschicht (30) aufgebracht ist, wobei die Isolationsschicht (20) in flüssiger Form auf die Membran (10) aufgebracht wird.</p> |
