发明名称 Transportvorrichtung
摘要
申请公布号 DE19951200(C2) 申请公布日期 2003.01.30
申请号 DE19991051200 申请日期 1999.10.22
申请人 ORTNER CLS GMBH CLEANROOM LOGISTIC SYSTEMS 发明人 JARNIG, HUBERT
分类号 B65G49/07;H01L21/677;(IPC1-7):B65G49/07 主分类号 B65G49/07
代理机构 代理人
主权项
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