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发明名称 VERFAHREN ZUM ZUR HERSTELLUNG VON OBJEKTEN DURCH EPITAKTISCHES WACHSTUM UND VORRICHTUNG
摘要
申请公布号 DE69622182(T2) 申请公布日期 2003.01.30
申请号 DE1996622182T 申请日期 1996.10.02
申请人 OKMETIC OYJ, VANTAA 发明人 KORDINA, OLLE;HALLIN, CHRISTER;JANZEN, ERIK;VEHANEN, ASKO;YAKIMOVA, ROSITZA;TUOMINEN, MARKO
分类号 C30B29/36;C30B23/02;C30B29/38;C30B35/00 主分类号 C30B29/36
代理机构 代理人
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