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发明名称
ETCHING PROCESS FOR MICROMACHINING CRYSTALLINE MATERIALS AND DEVICES FABRICATED THEREBY
摘要
<p>An optical microbench structure with etch stop pits (16).</p>
申请公布号
WO2003008139(A2)
申请公布日期
2003.01.30
申请号
US2002023177
申请日期
2002.07.19
申请人
发明人
分类号
主分类号
代理机构
代理人
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