| 摘要 |
<p>L'invention concerne un système intégré permettant de manipuler et/ou d'examiner une pièce à l'extrémité avant d'un outil. Le système comprend un élément rigide de construction monobloc tel qu'une plaque métallique qui se monte sur la partie frontale d'un outil associé à un procédé de fabrication de semiconducteurs. Les composants de l'extrémité frontale, notamment les ensembles d'orifices de charge, des dispositifs de préalignement et un robot de manipulation de pièces, sont montés sur la plaque de façon à assurer un positionnement précis et susceptible d'être répété des composants de l'extrémité frontale, les uns par rapport aux autres.</p> |
