| 发明名称 |
ANORDNUNG EINES FOKUSSIERENDEN RINGES ZUR BESEITIGUNG VON UNEINGESCHLOSSENEM PLASMA INNERHALB EINER PLASMABEHANDLUNGKAMMERS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69903032(T2) |
申请公布日期 |
2003.01.30 |
| 申请号 |
DE19996003032T |
申请日期 |
1999.06.22 |
| 申请人 |
LAM RESEARCH CORP., FREMONT |
发明人 |
LENZ, H. |
| 分类号 |
H05H1/46;C23C16/52;H01J37/32;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01J37/32 |
主分类号 |
H05H1/46 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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