发明名称 CERAMIC HEATER
摘要
申请公布号 EP1156703(A4) 申请公布日期 2003.01.29
申请号 EP20000977851 申请日期 2000.11.22
申请人 IBIDEN CO., LTD. 发明人 ZHOU, YANLING
分类号 H05B3/20;H01L21/027;H05B3/10;H05B3/14;H05B3/16;H05B3/26;H05B3/68;(IPC1-7):H05B3/20;H05B3/56;H01L21/324 主分类号 H05B3/20
代理机构 代理人
主权项
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