发明名称 | 监视服务器连接在网络上的通信监视系统 | ||
摘要 | 一种通信监视系统,包括:与网络(13)连接的半导体器件制造装置(12),与所述网络连接的主计算机(11),和与所述网络连接的监视单元(20)。半导体器件制造装置和主计算机通过网络执行关于半导体器件制造装置加工的通信序列。监视单元通过在半导体器件制造装置和主计算机之间的网络通信的第一通信序列的第一组数据分组和第二通信序列的第二组数据分组,并根据第一和第二组的数据分组判断在半导体器件制造装置和主计算机之间的通信是正常还是有错误。 | ||
申请公布号 | CN1394039A | 申请公布日期 | 2003.01.29 |
申请号 | CN02124736.6 | 申请日期 | 2002.06.21 |
申请人 | 日本电气株式会社 | 发明人 | 广濑琢哉 |
分类号 | H04L12/24 | 主分类号 | H04L12/24 |
代理机构 | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 穆德骏;方挺 |
主权项 | 1.一种通信监视系统,包括:与网络连接的半导体器件制造装置;与所述网络连接的主计算机,其中,所述半导体器件制造装置和所述主计算机通过所述网络执行关于所述半导体器件制造装置加工的通信序列;与所述网络连接的监视单元,它通过在所述半导体器件制造装置和所述主计算机之间的所述网络取得所述第一通信序列的第一组数据分组和所述第二通信序列的第二组数据分组,和根据所述第一和第二组的所述数据分组判断在所述半导体器件制造装置和所述主计算机之间的所述通信是正常还是有故障。 | ||
地址 | 日本东京 |