具有成像系统的光学MEMS开关

摘要

在全光学开关中，在其微透镜阵列与MEMS装置的可移动的微反射镜之间插入一成像系统，以将光束射向及射出可移动的微反射镜。这导致在MEMS装置处形成该微透镜阵列的象，反之亦然，因而有效地减小微透镜阵列与MEMS装置之间的距离。该成像系统可以是远心光路系统。可以通过使光路紧凑而减小该装置的尺寸，例如使用适当的传统反射镜，和/或采用折叠式结构，即在该结构中仅有一个MEMS装置台，其通过使用至少一个传统的反射镜执行用于输入和输出的双重功能。设置整个系统以构成所引入的任何变换。

主权项

1.一种光学开关，包括：一包含第一数量微反射镜的第一微机电系统(MEMS)装置；一以其一端与上述第一MEMS装置光学耦连的第一成像系统，以便在与所述第一成像系统与上述第一MEMS装置耦连的所述端相对的所述第一成像系统的端部产生上述第一MEMS装置的象；其中上述第一MEMS装置的所述象基本上处于包括所述光学开关的输入和所述光学开关的输出的组中至少一个元件的平面中。