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发明名称 METHOD OF PATTERNING LEAD ZIRCONIUM TITANATE AND BARIUM STRONTIUM TITANATE
摘要
申请公布号 EP1279190(A2) 申请公布日期 2003.01.29
申请号 EP20010928711 申请日期 2001.04.20
申请人 APPLIED MATERIALS, INC. 发明人 YING, CHENTSAU;HWANG, JENG, H.;YAMAUCHI, HIDEYUKI;PARK, SEAYOUL;KAWASE, YOHEI
分类号 H01L21/3065;H01L21/311;H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/311 主分类号 H01L21/3065
代理机构 代理人
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