氟酸的供给方法

摘要

本发明提供一种氟酸的供给方法，它是将给定浓度的氟酸供给到在玻璃基板上实施蚀刻等氟酸处理工序的氟酸的供给方法，能够从由氟酸处理工序排出的废液中简便地回收氟酸且没有损害质量并能够再利用。氟酸的供给方法包括工序(A)：在用纯水稀释高浓度氟酸并调制所定浓度的氟酸的同时，将调制的氟酸供给到氟酸处理工序的调制工序，工序(B)：从由氟酸处理工序排出的废液中分离淤渣，回收氟酸的固液分离工序，工序(C)：在从工序(B)回收的氟酸中大致除去杂质的同时，将大致除去杂质的氟酸返流到工序(A)的精制工序，而且，在工序(A)中检测被调制后的氟酸中的硅氟酸的浓度，调整工序(C)的氟酸的返流量。

主权项

1.一种氟酸的供给方法，该方法是将所定浓度的氟酸供给到氟酸处理工序的氟酸的供给方法，其特征在于包括如下三个工序，即工序(A)：在用纯水稀释作为原料的高浓度氟酸并调制所定浓度的氟酸的同时，将被调制后的氟酸供给到氟酸处理工序的调制工序，工序(B)：从由氟酸处理工序排出的废液分离淤渣，回收氟酸的固液分离工序，工序(C)：在从工序(B)回收的氟酸中大致除去杂质的同时，将大致除去杂质的氟酸返流到工序(A)的精制工序，在工序(A)中，检测被调制后的氟酸中的硅氟酸的浓度，调整工序(C)的氟酸的返流量。