双卷体干式涡卷真空泵

摘要

一种适合原子能机器的、具有特定的泵本体的密封构造的双卷体干式涡卷真空泵。它具有吸入口、排出口、一对包围体、压缩气体导入口以及非接触传递装置。吸入口可连通到要形成为真空的容器；排出口将卷体压缩气体排出到泵本体外，卷体压缩气体通过由上述旋转及固定涡卷形成的密闭空间的缩小动作进行压缩；包围体分别覆盖驱动旋转涡卷的驱动轴的两端部，并相互以气密状态安装在上述固定涡卷；压缩气体导入口将比上述卷体压缩气体压力大的压缩气体供给包围体。

主权项

1.一种双卷体干式涡卷真空泵，由旋转涡卷、一对固定涡卷、以及驱动轴构成真空泵本体，该旋转涡卷在两面具有涡旋状卷体，该一对固定涡卷具有嵌合到上述卷体的涡旋状卷体，并从两面夹持上述旋转涡卷，该驱动轴贯通上述一对固定涡卷中央部地进行配置，并且，该驱动轴可驱动上述旋转涡卷的中央部分；其特征在于：上述泵本体还具有：吸入口，可连通到要形成为真空的容器，排出口，用于将通过由上述旋转及固定涡卷形成的密闭空间的缩小动作压缩的卷体压缩气体排出到上述泵本体外，一对包围体，分别覆盖上述驱动轴的两端部位，均以气密状态分别安装于上述固定涡卷的两端，压缩气体导入口，用于将与上述卷体压缩气体一起从上述排出口排出的、其压力大于上述卷体压缩气体压力的压缩气体供给到上述包围体，非接触传递装置，用于将驱动源来的回转力传递到上述驱动轴，除上述吸入口、排出口以及压缩气体导入口之外都构成为气密状态。