发明名称 |
Use of deuterated gases for the vapor deposition of thin films for low-loss optical devices and waveguides |
摘要 |
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申请公布号 |
AU2002322480(A1) |
申请公布日期 |
2003.01.29 |
申请号 |
AU20020322480 |
申请日期 |
2002.07.12 |
申请人 |
LITTLE OPTICS, INC. |
发明人 |
DAVID M. GILL;OLIVER S. KING;FREDERICK G. JOHNSON;LANCE G. JONECKIS;JOHN V. HRYNIEWICZ;SAI T. CHU |
分类号 |
C03C17/34;C23C16/30;C23C16/40;G02B6/12;G02B6/132;(IPC1-7):G02B6/10 |
主分类号 |
C03C17/34 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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