发明名称 Use of deuterated gases for the vapor deposition of thin films for low-loss optical devices and waveguides
摘要
申请公布号 AU2002322480(A1) 申请公布日期 2003.01.29
申请号 AU20020322480 申请日期 2002.07.12
申请人 LITTLE OPTICS, INC. 发明人 DAVID M. GILL;OLIVER S. KING;FREDERICK G. JOHNSON;LANCE G. JONECKIS;JOHN V. HRYNIEWICZ;SAI T. CHU
分类号 C03C17/34;C23C16/30;C23C16/40;G02B6/12;G02B6/132;(IPC1-7):G02B6/10 主分类号 C03C17/34
代理机构 代理人
主权项
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