发明名称 |
铈基磨料和铈基磨料的制造方法 |
摘要 |
本发明是铈基磨料,其特征在于在主要组分为氧化铈和磨料颗粒的平均粒径为0.2-3.0微米的氧化铈基磨料中,粒径不小于10微米的粗颗粒的浓度不大于1000ppm(重量),和/或磁性颗粒的浓度不大于1000ppm(重量)。这些粗颗粒和磁性颗粒特别优选不大于300ppm(重量)。而且,由于包含表面积平均值为0.5-30米<SUP>2</SUP>/克的磨料颗粒,此磨料具有更高磨削性和能形成精度更高的研磨面。这种铈基磨料的制造方法是控制粗颗粒的浓度分级点和重复进行分级。对于磁性颗粒浓度的控制可单独或适当结合使用由磁性材料制成的过滤器的方法和改变粉碎介质的方法。 |
申请公布号 |
CN1394229A |
申请公布日期 |
2003.01.29 |
申请号 |
CN01803411.X |
申请日期 |
2001.04.06 |
申请人 |
三井金属鉱业株式会社 |
发明人 |
伊藤昭文;山崎秀彦;望月直义;内野义嗣 |
分类号 |
C09K3/14;C01F17/00;B24B37/00;H01L21/304 |
主分类号 |
C09K3/14 |
代理机构 |
上海专利商标事务所 |
代理人 |
沙永生 |
主权项 |
1.铈基磨料,其特征在于在主要组分为氧化铈和磨料颗粒的平均粒径为0.2-3.0微米的氧化铈基磨料中,粒径不小于10微米的粗颗粒的浓度以重量计不大于1000ppm。 |
地址 |
日本东京 |