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发明名称
摘要
申请公布号 JP3371777(B2) 申请公布日期 2003.01.27
申请号 JP19970311152 申请日期 1997.10.28
申请人 发明人
分类号 C23C22/73;(IPC1-7):C23C22/73 主分类号 C23C22/73
代理机构 代理人
主权项
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