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发明名称
摘要
申请公布号
JP3370946(B2)
申请公布日期
2003.01.27
申请号
JP19990075609
申请日期
1999.03.19
申请人
发明人
分类号
H01L27/082;H01L21/8222;H03F3/30;(IPC1-7):H03F3/30;H01L21/822
主分类号
H01L27/082
代理机构
代理人
主权项
地址
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