发明名称
摘要
申请公布号 JP3370946(B2) 申请公布日期 2003.01.27
申请号 JP19990075609 申请日期 1999.03.19
申请人 发明人
分类号 H01L27/082;H01L21/8222;H03F3/30;(IPC1-7):H03F3/30;H01L21/822 主分类号 H01L27/082
代理机构 代理人
主权项
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