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发明名称
摘要
申请公布号 JP3370733(B2) 申请公布日期 2003.01.27
申请号 JP19930143073 申请日期 1993.06.15
申请人 发明人
分类号 H01L21/60;G01B11/02;H01L21/321;(IPC1-7):H01L21/60 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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