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发明名称
摘要
申请公布号 JP3370729(B2) 申请公布日期 2003.01.27
申请号 JP19930107908 申请日期 1993.05.10
申请人 发明人
分类号 H01L21/8232;H01L21/8238;H01L21/8249;H01L27/06;H01L27/092;(IPC1-7):H01L21/06;H01L21/823;H01L21/824 主分类号 H01L21/8232
代理机构 代理人
主权项
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