首页
产品
黄页
商标
征信
会员服务
注册
登录
全部
|
企业名
|
法人/股东/高管
|
品牌/产品
|
地址
|
经营范围
发明名称
METHODS USING TOPCOAT FOR PHOTORESIST
摘要
<p>A coating is provided over a fresh layer of resist, such as a chemically amplified resist (CAR). The overcoat stabilizes process control and makes it possible to precoat the CAR on wafer or mask blanks some time prior to exposure.</p>
申请公布号
WO2003007081(A1)
申请公布日期
2003.01.23
申请号
US2002020960
申请日期
2002.07.01
申请人
发明人
分类号
主分类号
代理机构
代理人
主权项
地址
您可能感兴趣的专利
COMPOSIÇÃO DE MOLDAGEM TERMOPLÁSTICA, PROCESSO PARA A PREPARAÇÃO DE COMPOSIÇÕES DE MOLDAGEM TERMOPLÁSTICAS, USO DE COMPOSIÇÕES DE MOLDAGEM, E, CORPO MOLDADO, FIBRAS, E FOLHAS.
SISTEMA DE FACAS PARA UM PICADOR DE DISCO
COMPOSIÇÕES CATALÍTICAS E DE ÁCIDO CARBOXÍLICO AROMÁTICO E PROCESSOS DE PRODUÇÃO DE CATALISADOR E DE CONVERSÃO DE MATERIAL AROMÁTICO E PRODUTO AROMÁTICO OXIDADO.
ASSENTO PARA VEÍCULO, EM PARTICULAR ASSENTO PARA VEÍCULO MOTORIZADO
Composto, método para controlar plantas, e, composição herbicida
BATOM DE BASE GEL DE ALTO BRILHO
DERIVADOS DE OXINDOL
COMPOSIÇÃO HERBICIDA, AGENTE HERBICIDA E MÉTODO PARA CONTROLAR VETEGAÇÃO INDESEJÁVEL
ELEMENTOS DE COSTURA E TECIDO PARA A FABRICAÇÃO DE PAPEL
DISPOSIÇÃO INTRODUZIDA EM CAIXA DE TRANSMISSÃO
MÉTODO PARA LINGOTAMENTO CONTÍNUO DE CHAPAS DE AÇO E EQUIPAMENTO PARA PRODUÇÃO CONTÍNUA DE CHAPAS DE AÇO
“PROCESSO DE ALOCAR CÓDIGOS DE CANALIZAÇÃO E CÓDIGOS DE EMBARALHAMENTO EM UM SISTEMA DE COMUNICAÇÕES CELULAR DE ESPALHAMENTO ESPECTRAL, ESTAÇÃO BASE PARA UM SISTEMA DE COMUNICAÇÕES CELULAR DE ESPALHAMENTO ESPECTRAL E SISTEMA DE COMUNICAÇÕES CELULAR DE ESPALHAMENTO ESPECTRAL COMPREENDENDO TAL ESTAÇÃO BASE”.
DISPOSIÇÃO CONSTRUTIVA INTRODUZIDA EM VEÍCULO PARA TRANSPORTE DE EMBALAGEM ACONDICIONADORA DE ALIMENTOS
Compression apparatus for wasted scrap
DETECTING A COMMUNICATION TAP VIA SIGNAL MONITORING
ROTARY TOOL UNIT, FRICTION STIR WELDING METHOD, DOUBLE-SKIN PANEL ASSEMBLY, AND FRICTION STIR WELDING METHOD FOR DOUBLE-SKIN PANEL ASSEMBLY
METHOD AND APPARATUS FOR POWER HEADROOM REPORTING DURING MULTI-CARRIER OPERATION
STORAGE TYPE HOT WATER SUPPLY DEVICE
LIQUID CRYSTAL DISPLAY APPARATUS AND MATHOD OF DRIVING THEREOF
Calibration method and calibration tool for in-mold molten metal level meter