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发明名称
ALIGNMENT OF SEMICONDUCTOR WAFERS AND OTHER ARTICLES
摘要
A wafer or some other article is aligned while being held by an end-effector.
申请公布号
WO03007342(A2)
申请公布日期
2003.01.23
申请号
WO2002US22375
申请日期
2002.07.09
申请人
TRU-SI TECHNOLOGIES, INC.
发明人
BERGER, ALEXANDER, J.;KRETZ, FRANK, E.
分类号
H01L21/68
主分类号
H01L21/68
代理机构
代理人
主权项
地址
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