| 发明名称 |
Turning-over machine and polishing apparatus |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
EP0841102(B1) |
申请公布日期 |
2003.01.22 |
| 申请号 |
EP19970117490 |
申请日期 |
1997.10.09 |
| 申请人 |
EBARA CORPORATION |
发明人 |
TOGAWA, TETSUJI;YAMAGUCHI, KUNIAKI |
| 分类号 |
B08B17/00;H01L21/00;(IPC1-7):B08B17/00 |
主分类号 |
B08B17/00 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
