发明名称 Method and apparatus for polishing workpieces
摘要
申请公布号 EP1050369(A3) 申请公布日期 2003.01.22
申请号 EP20000109372 申请日期 2000.05.02
申请人 EBARA CORPORATION 发明人 HIROKAWA, KAZUTO;HIYAMA, HIROKUNI;WADA, YUTAKA;MATSUO, HISANORI;SHIMIZU, NOBURU
分类号 H01L21/304;B08B1/04;B24B37/04;H01L21/00;H01L21/677;(IPC1-7):B24B7/22;B24D13/12;H01L21/306 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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